MEMS Module

Software for Microelectromechanical Systems (MEMS) Simulations

압력 센서는 구조체의 변형에 대한 용량 변화에 따라 압력을 줍니다. 변형은 사용하는 재료, 주위 압력 및 온도 및 재료 임의의 초기 응력에 따라 달라집니다.

Simulation of Microelectromechanical Systems

마이크로 전자 기계 시스템 (MEMS) 디자인과 모델링은 독특한 엔지니어링 분야입니다. 작은 길이 스케일의 공진기, 자이로스코프, 가속도계 및 액츄에이터 설계 시 이러한 기기들이 작동할 때의 여러 물리 현상의 영향을 고려하여야 합니다. 따라서, COMSOL Multiphysics는 MEMS 애플리케이션에 이상적입니다. MEMS Module은 전자 구조, 열 구조 또는 유체 – 구조 상호 작용을 포함 결합한 물리학을 위해 다양한 물리적 인터페이스 관련 모델링 도구와 미리 정의 된 사용자 인터페이스를 제공합니다. 박막 가스 댐핑, 고체 및 압전 재료의 이방성 손실 계수, 앵커 댐핑 및 열 탄성 댐핑으로 모델의 현상을 감쇠시키는 다양한 조건을 포함 할 수 있습니다. 탄성 진동과 파장의 경우 완전 정합 층 (PMLs)은 밖으로 나가는 탄성 에너지를 기술적으로 흡수할 수 있는 기능을 제공합니다.

최고 수준의 압전 및 압전 저항 모델링 도구는 복합 압전 탄성 유전체 재료를 무엇이든 최적의 구성으로 조합 할 수 있는 시뮬레이션을 가능하게 합니다. MEMS Module은 정적 및 과도 도메인 분석뿐만 아니라 완전히 결합 된 고유 진동수, parametric, 준 정적 및 주파수 응답 해석이 포함되어 있습니다. 쉽게 정전 용량, 임피던스 및 어드미턴스의 집중 상수를 추출하고 SPICE 넷리스트를 통해 외부의 전기 회로에 연결 할 수 있습니다. COMSOL Multiphysics®의 핵심 기능으로 만들어진, MEMS Module은 사실상 마이크로 스케일에서의 역학 관련 문제를 해결하는 데 사용할 수 있습니다.


Solid Workflow for Modeling MEMS Devices

MEMS 디바이스를 모델링 하기 위해, 가장 먼저 COMSOL의 기본 모델링 도구를 사용하거나 CAD 모델을 불러와, 소프트웨어에서 형상을 정의 합니다. 사용자가 기계 적인 CAD 모델을 가져올 경우, CAD Import Module 또는 LiveLink™ products for CAD 제품 중 하나를 사용 하여 가져올 수 있습니다. Electronic layouts은 ECAD Import Module을 사용하여 가져올 수 있습니다. 기하학적 모델이 정의되면 적절한 재료를 선택하고 물리 인터페이스를 추가합니다. 초기 조건과 경계 조건은 인터페이스 내에 설정 되어야 합니다. 그 다음, Mesh를 정의하고 Solver를 선택합니다. 마지막으로, 결과 및 프로세스를 확인하고 결과를 내보냅니다. 이 모든 단계는 COMSOL Desktop®에서 이용 할 수 있습니다. Solver는 이미 각각의 특정 인터페이스에 맞게 조절되어있고 기본적으로 자동 설정되어 있습니다. 그러나, 필요한 경우 고급 사용자는 낮은 단계의 solver 설정에 접근하고 수정할 수 있습니다.

Microsoft®Excel®을 사용하여 MEMS 시뮬레이션을 통합 할 수 있습니다. LiveLink™ for Excel®은 Excel® 인터페이스에서 시뮬레이션을 구동 할 수 있을 뿐만 아니라 결과 및 소재의 import/export 가 가능합니다. 스크립트 환경을 선호하는 경우 COMSOL Multiphysics와 MATLAB을 함께 설치했을 때 LiveLink™ for MATLAB ®은 매우 강력한 MATLAB ®의 호환 명령을 계속 사용할 수 있습니다. 따라서, COMSOL 시뮬레이션은 MATLAB 프로그램과 통합 할 수 있습니다. 강성 및 시스템 행렬의 조사를 포함하여 COMSOL 모델에서 MATLAB 환경으로 결과를 내보낼 수 있습니다.

더보기