Molecular Flow Module

Software for Modeling Low Pressure Gas Flow in Vacuum Systems

이온 주입기에서 빔 경로를 지나는 탈기체(outgassing) 분자의 평균 수밀도는 설계를 평가하는 성능지수로서 사용됩니다. 그것은 하나의 축으로 회전되는 웨이퍼 각도의 함수로서 계산되어야 합니다.

진공 시스템에서의 낮은 압력 기체 유동 모델링

Accurate Modeling of Low Pressure, Low Velocity Gas Flows

Molecular Flow Module은 복잡한 형상에서의 낮은 압력, 낮은 속도 기체 유동을 정확히 모델링하기 위해 이전에는 할 수 없었던 시뮬레이션을 제공하도록 설계되었습니다. 반도체 공정, 입자 가속기와 질량 분석기 등이 포함된 진공 시스템의 시뮬레이션에 적합합니다. 작은 채널 어플리케이션(예를 들면 가스 탐사와 나노 다공성 물질에서의 유동)에서도 할 수 있습니다.

Molecular Flow Module은 정상 상태 자유 분자 유동을 시뮬레이션 하기 위해 fast angular coefficient method를 사용합니다. 사용자는 등온과 비등온 분자 유동과 기체 분자로부터 받는 열유속을 자동으로 계산하는 모델링을 할 수 있습니다. Discrete velocity method도 transitional flow 시뮬레이션을 해석하기 위해 모듈에 포함되어 있습니다.

Two Methods for Modeling Free Molecular and Transitional Flows
Molecular Flow Module은 다루기 쉽고 정확한 방법으로 낮은 속도와 낮은 압력 유동을 계산하기 위해 두 가지 대안을 제안합니다. GUI를 통해 모델 물성을 적용하여 방정식을 지정할 수 있도록 구성되어 있는 두 가지 특정 물리인터페이스를 갖추고 있습니다.

Free Molecular Flows

Free Molecular Flow 인터페이스는 10보다 큰 누센 수를 가진 유동을 모델링하기 위해 angular coefficient method를 사용합니다. 이 물리인터페이스는 모델의 부피를 계산하지 않기 때문에 표면의 메시만 필요합니다. 완전한 확산 산란 (total accommodation)과 방사는 형상의 모든 표면에서 가정되어 있고, 유동은 표면에서 보여지는 다른 모든 표면으로부터 도달하는 플럭스를 계산합니다. 이것은 종속 변수가 형상의 표면에만 존재한다는 것을 의미하고, 이 솔루션은 DSMC법 보다 훨씬 빠릅니다. 게다가 통계적인 분산이 적용되지 않습니다. 수밀도는 Free Molecular Flow 인터페이스에 포함된 방법을 사용하여 재구성됩니다.

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