MEMS Module

Analyze Microelectromechanical Systems

MEMS(Microelectromechanical Systems) 장치는 전자기-구조, 압전, 열-구조 및 기타 다중 물리학 상호 작용을 활용합니다. 다양한 물리학 간의 상호 작용을 이해하는 것은 성공적인 MEMS 설계에 매우 중요하므로, COMSOL Multiphysics® 소프트웨어에 추가하여 사용하는 MEMS Module이 MEMS 장치 분석에 이상적입니다.

열, 정전기 및 압전 효과에 의해 유도된 힘은 장치 크기가 감소함 따라 알맞게 확장됩니다. 다시 말해, 미시적 규모의 작동은 거시적 규모에서 사용할 수 없는 다양한 응용 프로그램을 가능하게 할 만큼 충분히 효율적입니다.